ГОСТ Р 52250-2004
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
В документе освещены следующие темы:
Стандарт распространяется на резисты для литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок, а также совместно с ТУ при их приемке и поставке.
Статус: действующий
Дата
публикации: 26 января 2020 г.
Дата
введения: 1 января 2005 г.
Количество
страниц: 31
Имя
файла: gost-r-52250-2004-materialy-elektronnoi-tekhniki.pdf
Размер
файла: 4,1 МБ
Вам может быть интересно
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 2
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 3
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 4
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 5