info@centrattek.ru
ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
В документе освещены следующие темы:
Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения — радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Статус: действующий
Дата
публикации: 26 января 2020 г.
Дата
введения: 1 января 2009 г.
Количество
страниц: 15
Имя
файла: gost-r-8-640-2008-gosudarstvennaia-sistema-dlia-v.pdf
Размер
файла: 1,3 МБ
Вам может быть интересно
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 2
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 3
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 4
- ОСТ 1 00022-80 Предельные отклонения размеров от 0,1 до 10000 мм и допуски формы и расположения поверхностей, не указанные на чертеже, блок 5
